你有没有想过,为什么红外热像仪能看到黑夜中的人影?为什么消防员能在浓烟中看清火源?这些神奇能力的背后,都离不开一个核心部件——非制冷红外探测器。而在这个探测器两位材料选手正在进行一场旷日持久的较量:氧化钒(VOx) 和非晶硅(a-Si)。
一、什么是非制冷红外探测器?
任何温度高于绝对零度的物体都会向外辐射红外线,红外探测器捕捉到这些红外线后,将其转化为电信号,最终形成我们肉眼可见的热图像。
那“非制冷”又是什么意思呢?早期的红外探测器需要配备低温制冷机才能工作,体积大、价格贵、启动慢。而非制冷红外探测器可以在室温下正常工作,体积小、功耗低、成本也更亲民。正是这项技术,让红外热成像从特定领域走向了寻常百家,如今安防监控、工业检测、电力巡检、车载夜视、医疗诊断,处处都有它的身影。
二、为什么是它们俩?
在众多候选材料中,氧化钒和非晶硅脱颖而出,成为非制冷红外探测器的两大主流方案。它们都属于热敏电阻型材料——当温度变化时,电阻会发生显著变化,通过测量电阻的变化就能感知红外辐射的强弱。
更有趣的是,它们在生产工艺上其实是一对“兄弟”。两者的制造技术都与CMOS工艺兼容,可以和读出电路单片集成,基于半导体生产线进行大规模生产。
1.氧化钒
氧化钒最大的“杀手锏”是它的电阻温度系数(TCR) 。这个指标衡量的是温度变化一度时电阻变化的幅度——数值越大,探测器就越灵敏。氧化钒的TCR可以达到2%~3%/K,意味着温度每升高1度,电阻就变化2%到3%,相当“敏感”。
高灵敏度带来的是卓越的成像质量。氧化钒探测器的热灵敏度可以达到30mK,而非晶硅通常在50mK左右。简单说,氧化钒能捕捉到更细微的温度差异,图像更清晰、更锐利。
此外,氧化钒的图像非均匀性更好,残余固定图像噪声比非晶硅低一个数量级以上——用大白话讲,就是画面更干净,不会有“蒙了一层纱”的感觉。
正因如此,氧化钒一直是市场的绝对主流,占据了约80%的市场份额。
2.非晶硅
非晶硅登场的时间比氧化钒晚了大约10年。非晶硅的最大优势在于与标准CMOS工艺完美兼容。因为非晶硅本身就是半导体工业的“老朋友”,制备过程相对简单,生产成本更低。这种成本优势在民用大规模量产时尤为重要。
但非晶硅的“软肋”也很明显。由于它是无定形结构,电流噪声(1/f噪声)比氧化钒高,导致图像有蒙纱感,清晰度稍逊于氧化钒。
氧化钒和非晶硅的竞争,本质上是性能与成本、画质与速度之间的权衡,它们各自在不同的赛道上发光发热。
芯火微电子就选择了氧化钒(VOx) 作为其ApexCore超级探测器的核心敏感材料,并基于此打造了完整的探测器、模组和机芯产品线,图像更清晰、探测更灵敏!
