红外探测器是红外热成像仪的核心器件,是探测、识别和分析物体的关键。红外探测器的分类有多种形式,按工作原理划分为红外探测器可分为热探测器和光子探测器。目前的热探测器品类中,微测辐射热计是当前非制冷红外探测器主流选择。

一、热探测器的原理
热探测器利用辐射热效应工作。探测器吸收红外辐射后温度升高,引起材料物理性质发生变化,通过测量这些变化反推辐射强度。
其光谱响应无选择性,对各波长响应率基本一致;响应速度较慢;室温工作,无需制冷;成本较低,适合民用普及。
光子探测器利用光电效应工作。红外光子直接与材料中的电子相互作用,改变材料的电学状态。其光谱响应有选择性,存在截止波长;响应速度极快;需制冷至77K以下抑制热噪声;探测率极高,但成本高昂。
热探测器虽在响应速度和探测率上不及光子探测器,但其无需制冷、成本适中的优势,使其在民用和工业热成像领域占据主导地位。
二、热探测器的三大核心类型
1.热电堆探测器
基于塞贝克效应工作。两种不同材料构成的结点存在温差时产生电动势,多个热电偶串联构成热电堆,可叠加增强信号。
2.热释电探测器
基于热释电效应工作。某些晶体温度变化时自发极化强度改变,产生表面电荷,从而在晶体两端产生可测量的电信号。但是其仅响应变化的辐射。对静止目标成像需配合机械斩波器或依赖目标运动,限制了其在静态监控中的应用。
3.微测辐射热计

基于热敏电阻效应工作。热敏薄膜吸收辐射后温度升高,电阻值变化,通过读出电路转换为电信号。采用MEMS工艺制造的微桥结构,是目前非制冷红外焦平面探测器的绝对主流。
三、微测辐射热计的核心优势
微测辐射热计之所以成为非制冷热成像的主流选择,主要得益于以下几方面优势:
1.像元尺寸极小:主流产品已达12μm及以下。相比之下,热电堆和热释电停留在50-100μm的理论极限。更小的像元意味着在相同分辨率下整机可以更小巧轻便,或在相同光学系统下获得更高的空间分辨率。
2.面阵规模大:可达1280×1024甚至更高,实现百万像素级高清成像。而热电堆和热释电最多做到120×84左右,属低分辨率成像。大面阵带来更强的目标探测与识别能力。
3.温度灵敏度极高:NETD小于40mK,能分辨0.04℃的细微温差。相比之下,热电堆通常在100mK以上,热释电FPA约为100-200mK。这种高灵敏度使其能捕捉微小的温度异常,适用于早期火灾预警和精密医疗诊断。

4.可响应恒定辐射:与热释电不同,微测辐射热计能够对静止目标稳定成像,无需斩波器或依赖目标运动,大大扩展了应用范围。
5.材料体系成熟:氧化钒材料噪声低,技术成熟,成像质量优异;非晶硅则兼容CMOS工艺,便于集成。成熟的材料体系保证了性能一致性和量产可行性。
6.室温工作,系统简单:作为非制冷探测器,无需复杂制冷系统,具备体积小、重量轻、功耗低、启动快、寿命长、可靠性高、成本适中等系统级优势。
红外探测器作为热成像系统的核心,热探测器与光子探测器各有其不可替代的优势。而在热探测器中,微测辐射热计凭借其在分辨率、灵敏度、静态成像能力及量产成本上的综合平衡,已成为非制冷热成像的基石技术,持续推动着红外热成像向“高清化、智能化、芯片化”迈进。
